Propuesta de diseño de un brazo-antebrazo para un robot de configuración tipo SCARA con rodamientos magnéticos para su implementación en cuartos limpios

Abstract

En la industria automatizada de la microelectrónica (en particular en la utilización de discos/obleas de silicio), existe una tendencia a miniaturizar los componentes, por lo que las partículas generadas por la fricción entre las partes de los robots que trabajan en un ambiente limpio, pueden llegar a ser del mismo tamaño que las pistas de los circuitos y perjudicar su funcionamiento.